性能特点：

1、在较宽的压强范围内有较大抽速，弥补扩散泵和机械泵在133-1.33pa抽速小的缺陷。

2启动快，能立即工作，对气体中含有灰尘和水蒸气不敏感。

1、两转子之间无接触摩擦，无需润滑，泵腔内无油。